芯研所音讯，近来由上海精测半导体技能有限公司制作的国内首台 12 寸独立式光学线宽丈量设备（OCD）与国内仅有 12 寸全自动电子束晶圆缺点复查设备（ReviewSEM）顺畅出机。两台设备的交给方为中芯世界。
据了解，OCD 设备除具有全自动光学膜厚丈量才能外，还能够直接进行显影后查看（ADI）、刻蚀后查看（AEI）等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁视点（SWA）、高度 / 深度等要害尺度（CD）特征或全体描摹丈量，具有高速、精确和非破坏性等特征，是半导体前道检测的要害设备之一。
而 ReviewSEM 则是上海精测的另一重要设备产品，该设备的交给也使得公司成为现在全球成功开发该设备的仅有非美系厂商。
上海精测此次交给的两台前道量测检测设备，该设备从零部件到整机规划制作，均具有彻底自主知识产权，填补了国内半导体产业链在该范畴的空白！
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